国家智能传感器创新中心 本文图片均来自微信公众号@上海嘉定继全国首条8英寸MEMS研发中试线落地上海嘉定工业区后,近日,由国家智能传感器创新中心(以下简称“创新中心”)建设的国内首条12英寸先进传感器研发中试线,也在嘉定成功通线。随着上海市加快推进城市数字化转型,物联感知网络越织越密,先进传感器产业蓬勃发展。“面向新兴技术发展和市场应用需求,创新中心将在12英寸中试线持续开发新材料、新工艺、新器件等关键共性技术,重点突破光学、声学、力学等先进传感器的核心工艺,并推动相关产品及应用的产业化。”创新中心相关负责人表示,未来,将重点搭建共性技术平台,专注于先进传感器特色工艺研发和中试。
该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力,可提供产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。 |